NANOMETRO® FR系列

对陶瓷板等平面度进行高精度测量

搭载旋转气动台,可测量晶圆抛光用陶瓷板、研磨台等最大φ1000mm的圆盘表面形状。配备有详细评价用同心圆测量、粗略评价用放射状测量等各种测量所需的评价用软件。

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性能、规格

项目

NANOMETRO®

700FR

NANOMETRO®

1000FR

量程 φ700mm(max.) φ1000mm(max.)
综合测量精度 0.4μm 0.6μm
重复测量精度 0.05μm(σ)
显示分辨率 0.01μm
测头 电子千分尺
最大测量速度(X轴) 35mm/s
轴、导轨

X轴:陶瓷制气动滑座

θ轴:气动轴承

驱动方式

X轴:线性马达

θ轴:伺服马达

最大工件重量 60kg 80kg

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