NANOMETRO® F系列
对晶圆、FPD用玻璃基板等表面形状进行高精度测量。
采用高刚性高精度气座，可对晶圆、FPD用玻璃基板、大形陶瓷平板、精密工作台等大形构件的表面形状进行高精度测量。从表面形状分析评价到粗糙度评价，只需简单操作即可输出丰富数据。
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性能、规格
| 项目 |
NANOMETRO® 110F |
NANOMETRO® 330F |
NANOMETRO® 750F |
|---|---|---|---|
| 量程 |
X:100mm Y:100mm |
X:300mm Y:300mm |
X:700mm Y:500mm |
| 综合测量精度 | 0.4μm | 0.6μm | |
| 重复测量精度 | 0.05μm(σ) | 0.1μm(σ) | |
| 显示分辨率 | 0.01μm | ||
| 测头 | 非接触激光位移计 | ||
| 最小数据周期 | 1μm | ||
| 测量速度 | 0.5~30mm/s | ||
| 轴、导轨 | 气动滑座 | 陶瓷制气动滑座 | |
| 驱动方式 | XY:伺服马达 |
X:线性马达 Y:伺服马达 |
|
| 最大工件重量 | 4kg | 50kg | 50kg |
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