NANOMETRO® F系列

对晶圆、FPD用玻璃基板等表面形状进行高精度测量。

采用高刚性高精度气座,可对晶圆、FPD用玻璃基板、大形陶瓷平板、精密工作台等大形构件的表面形状进行高精度测量。从表面形状分析评价到粗糙度评价,只需简单操作即可输出丰富数据。

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性能、规格

项目

NANOMETRO®

110F

NANOMETRO®

330F

NANOMETRO®

750F

量程

X:100mm

Y:100mm

X:300mm

Y:300mm

X:700mm

Y:500mm

综合测量精度 0.4μm 0.6μm
重复测量精度 0.05μm(σ) 0.1μm(σ)
显示分辨率 0.01μm
测头 非接触激光位移计
最小数据周期 1μm
测量速度 0.5~30mm/s
轴、导轨 气动滑座 陶瓷制气动滑座
驱动方式 XY:伺服马达

X:线性马达

Y:伺服马达

最大工件重量 4kg 50kg 50kg

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